MEMS在工业机器人中的应用 |
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| MEMS传感器在工业领域应用非常广泛，工业生产各个环节都需要MEMS传感器进行监测，并把数据反馈给控制中心，以便对出现异常节点进行及时干预，保证工业生产正常进行。可以说，MEMS传感器让工业自动化智能设备有了感知能力，在自动化生产过程中使用各种传感器监视和控制各个参数，使设备工作在正常状态或最佳状态，并使产品达到最好的质量，并让工作人员远离生产线和设备，保证人身安全和健康。 工业类MEMS传感器是根据材料的物理、化学、生物学的特性和规律设计而成的器件，种类繁多，分类方法也比较多。以下，就是智芯传感小编为大家梳理一下工业类MEMS传感器类型： 按用途分类，可分为压力、位移、速度、温度、湿度等传感器； 按测量原理分类，可分为物理型传感器、化学型传感器和生物型传感器。如电压式、热电式、电阻式、光电式、电感式等； 按半导体有关理论分类，可分为半导体力敏、热敏、光敏、气敏等固态传感器； 按制造工艺分类，可分为集成传感器、薄膜传感器、厚薄传感器和陶瓷传感器； 按输出量分类，可分为模拟式和数字式传感器。模拟式传感器的输出信号为模拟量；数字式传感器的输出信号为数字量，便于与计算机连用，且抗干扰性强； 按构成分类，可分为基本型传感器、组合型传感器和应用型传感器； 按作用形式分类，可分为主动型传感器、被动型传感器。
MEMS在工业机器人中的应用
工业领域的MEMS传感器，常见的有加速度计、陀螺仪、惯性测量组合（IMU）、振荡器、压力传感器等。近年来红外探测器也向工业市场进军，气体/化学传感器则有望受空气质量检测和安全需求驱动高速增长。加速度计可以用来监测工业设备的振动和旋转速度，高精度的MEMS加速度计和陀螺仪可以为工业机器人的导航和转动提供精确的位置信息。MEMS传感器典型应用 由于起步晚基础弱，我国工业类MEMS传感器和其他关键技术一样，核心元器件技术严重缺失、创新能力弱，国内工业传感器厂商主要在低端市场混战厮杀，近年来逐步向中高端市场发力，但是高端市场仍被美国、德国、日本等外资企业长期占据。目前，随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展，我国高度重视MEMS传感器等电子元器件产业发展，MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。特别是在2021年1月29日，工信部发布了《基础电子元器件产业发展行动计划（2021-2023 年）》，提出要做强传感类等元器件产业，夯实信息技术产业基础，这对加快电子元器件及配套材料和设备仪器等基础电子产业发展，特别是对工业类MEMS传感器向小型化、集成化、网络化、智能化等方面发展具有重要意义。 |
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