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MEMS传感器
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MEMS传感器即微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。
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