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MEMS传感器产业链解析
2022-05-19MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。
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MEMS传感器未来发展趋势分析
2022-05-19微机电系统（Microelectromechanical Systems，简称 MEMS）是将微电子技术与精密机械技术结合发展出来的工程技术，尺寸在 1 微米到 100 微米量级，涵盖机械（移动、旋转）、光学、电子（开关、计算）、热学、生物等功能结构，主要分为传感器、致动器、三维结构器件等三大类。与 MEMS 类似，
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