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压力类MEMS传感器常见问题
2024-06-21半导体传感器气体浓度和电压之间没有良好的线性对应关系，一般仅做定点标定的产品使用；电化学传感器气体浓度和输出电流有很好的线性对应关系，能够做成定量检测的产品。
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MEMS加工工艺技术
2022-05-19MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
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MEMS 产业逐渐发展壮大
2022-05-19MEMS 行业的第三波浪潮是物联网。从 2010 年到 2020 年，随着联网节点呈现爆发式增长趋势，智能传感器与节点、传感器相关软件与算法、定制化物联网传感器解决方案将成为行业重要发展趋势。物联网的核心是传感、互连和计算，MEMS 在物联网中的重要应用场景包括智能家居、
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MEMS 传感器正走向传感融合
2022-05-19MEMS 在消费电子领域遇到的挑战来自技术和市场。Yole developpement 认为，MEMS在消费电子中的技术挑战包括传感器性能/精度、传感器不可见/小体积设备，市场挑战是指传感器能提供个人/可定制对象的解决方案，并能为消费电子产品带来可感知的价值。
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MEMS传感器产业链解析
2022-05-19MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。
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