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MEMS传感器产业链解析

MEMS传感器产业链解析

2022-05-19

MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System),利用半导体制造工艺和材料,将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统,其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分:传感器和执行器。

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MEMS传感器未来发展趋势分析

MEMS传感器未来发展趋势分析

2022-05-19

微机电系统(Microelectromechanical Systems,简称 MEMS)是将微电子技术与精密机械技术结合发展出来的工程技术,尺寸在 1 微米到 100 微米量级,涵盖机械(移动、旋转)、光学、电子(开关、计算)、热学、生物等功能结构,主要分为传感器、致动器、三维结构器件等三大类。与 MEMS 类似,

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